?對位平臺是高精度自動化領域中的部件。使用以及經過長時間的使用都是要對齊進行校準的,只有校準才會在后期使用過程中減少誤差的出現,從而減少不良率。那么對位平臺該如何校準呢?下面小編就為您詳細的講解一下。
1、首先需要獲取三組以上,且不同線的X方向和Y方向的預設平移量后,根據其對應關系和預設平移量,確定對位平臺中各個工作軸的移動量,并控制各個工作軸,根據移動量進行移動,實現平移;
2、根據標記點在平移前后的平臺坐標變化量和圖像坐標變化量,計算類型參數,具體的類型參數包括:圖像坐標系在Y方向的分辨率R Y、圖像坐標系在X方向的分辨率Rx、以及圖像坐標系和平臺坐標系之間的夾角ω;
3、記錄事先預設的旋轉角度α后,根據對位平臺各個部件之間對應關系和旋轉角度α,確定對位平臺中各個工作軸的第二移動量,并控制各個工作軸根據第二移動量進行移動,實現旋轉;
4、根據類型參數、第二類型參數和對位平臺在旋轉前,所述標記點的圖像坐標(X0,y0),獲取對位平臺在移動過程中,標記點的圖像坐標系和平臺坐標系之間的映射關系,所述映射關系為:(x1,Y1)為所述標記點在移動過程中的平臺坐標,(x2,y2)為標記點在移動過程中的圖像坐標。
5、旋轉平移單元,使其達到一定的旋轉角度β,并且控制旋轉角度β相對應的平移量,控制進行相應的旋轉和平移;第二計算單元,用于設定所述標記點在旋轉和平移前的第二平臺坐標為(xK,Yk),根據所述標記點的平臺坐標(X1,Y1)、標記點在旋轉和平移前的圖像坐標(XK,yK)、標記點在旋轉和平移后的圖像坐標以及所述類型參數,計算第二平臺坐標(Xe,Ye);
6、判斷單元,用于判斷所述第二平臺坐標(XK,Yk)和平臺坐標(X1Y1)之間的差值是否在規定的范圍內,若是,確定所述第二平臺坐標(XK,Yk)為對位平臺在旋轉前,標記點的平臺坐標(Xtl,Ytl),若否。
7、設定第二平臺坐標(XK,Yk)作為平臺坐標(X1,Y1),并重新獲取其他預設的旋轉角度,并設定所述其他預設的旋轉角度為旋轉角度β,返回由平移量獲取單元執行操作。